涡轮分子泵的运用

　　涡轮分子泵的正常运行需要小于10pa的前压强，旋转叶片机械泵可以用作前级泵。涡轮分子泵有一种特殊的中频电源，它为泵中的电机提供动力。启动中频电源后，泵的转速可在几分钟内达到额定值。泵的额定转速一般在30000~50000 r/min之间。立式泵需要垂直放置，轴承高速旋转在泵中，需要用冷却水冷却。

　　为了达到分子泵的最终真空度，应烘烤被抽吸体和泵体。由于泵体的连接部分是用橡胶密封的，所以泵体的烘焙温度不应太高，即100-120 C。

　　涡轮分子泵与大分子相对质量气体的压缩比较大，极限真空度主要取决于小分子相对质量气体的组成，如H2、He等。此外，容器和泵体释放的水蒸气也是影响最终真空度的重要因素。

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